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一种用于激光分子束外延设备中的衬底加热器

交易信息: 完全转让-元  许可转让-元  技术入股-元  合作开发-元     
专利: 技术成熟度:可以量产  

技术领域:先进制造技术 应用领域:装备制造 最后更新时间:2020-09-10 10:31:40
所在地:中国 北京市 北京 海淀
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本发明涉及用于激光分子束外延设备的衬底加热器包括炉盘,在炉盘底上开有至少2个固定孔,固定孔中穿入螺钉,该螺钉在漏出底座上的一段上套有垫片或螺母,在其上放上隔热板和垫片或螺母;炉丝板2两端有通孔,和板面上开有螺旋槽,螺旋槽内缠绕炉丝;压片压放在缠绕好炉丝上面,压片两端也有通孔,其通孔的位置与炉丝板上通孔的位置相对应,通过螺母将压片、炉丝板、隔热板固定在炉盘上;在炉盘和隔热板的对称位置上各打2个圆孔,作为炉丝的炉丝引线的孔,炉丝引线与炉丝和加热器的电源电连接。加热器的电源选用低纹波的直流稳压电源,炉丝采用扁螺旋形绕制和选用低纹波的直流稳压电源,消除了炉丝电流产生磁场对RHEED的影响



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