专利名称--【一种鳍状结构、半导体器件及其制备方法】

基本信息
申请号 CN201911274412.3 申请日 20191212 公开(公开)号 CN111146089A 公开(公开)日 20200512
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 申请人地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人 李俊杰;李永亮;周娜;王桂磊;殷华湘;杨涛;李俊峰;王文武 专利类型 发明专利
摘要
主权项
IPC信息
IPC主分类号 H01L21/336
IPC分类号
法律状态信息
法律状态公告日 20200512;20200605 法律状态 实质审查的生效;公开 法律状态信息
代理信息
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 申请人地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
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