专利名称--【一种拉丝模具内孔制备金刚石涂层的装置】

基本信息
申请号 CN201720240029.6 申请日 2017-03-13 公开(公开)号 CN206545041U 公开(公开)日 2017.10.10
申请(专利权)人 深圳先进技术研究院 申请人地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
发明人 唐永炳;张松全;王陶 专利类型 实用新型
摘要 本实用新型提供了一种拉丝模内孔制备金刚石涂层的装置,包括真空腔室及样品台、热丝、导流器和多个具有模孔的拉丝模具,样品台包括相对设置的第一端和第二端,拉丝模具间隔卡设在样品台的第一端上,样品台的第二端设有与模孔连通的通孔;样品台上方水平设置有两端连接电极柱的热丝;还包括插入真空腔室内的进气管和排气管,排气管与泵相连;导流器的腔体具有相对设置的第一端和径向尺寸大于第一端的第二端;第一端与进气管相连通,第二端上设有多个与腔体连通的分流管;分流管的出口位于模孔的正上方。采用该装置能避免将热丝穿过模具内孔,将沉积涂层用的反应气体在热丝周围产生的等离子团定向引至拉丝模具的模孔内,实现金刚石涂层的均匀沉积。
主权项 一种拉丝模内孔制备金刚石涂层的装置,所述装置包括真空腔室,以及设置在真空腔室内的样品台、热丝和多个具有模孔的拉丝模具,其特征在于,所述样品台包括相对设置的第一端和第二端,所述拉丝模具间隔卡设在所述样品台的第一端上,所述样品台的第二端设有通孔,所述拉丝模具的模孔与所述通孔相连通;所述样品台的上方水平设置有热丝,所述热丝的两端分别连接电极柱;所述装置还设有导流器,以及插入所述真空腔室内的进气管和排气管,所述排气管的出口与一泵相连;所述导流器包括腔体,所述导流器具有相对设置的第一端和第二端,所述第二端大于所述第一端的径向尺寸;所述第一端连接有与所述腔体连通的进气管,所述第二端上设有多个与所述腔体连通的分流管;所述分流管的出口位于所述模孔的正上方。
IPC信息
IPC主分类号 C23C16/27(2006.01)I
IPC分类号 C23C16/27(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I
法律状态信息
法律状态公告日 2017.10.10 法律状态 授权 法律状态信息 授权
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申请(专利权)人 深圳先进技术研究院 申请人地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
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